El reductor de accionamiento armónico, la caja de engranajes reductora RV y el reductor planetario de precisión ayudan a los sistemas de manipulación de obleas a alcanzar niveles más altos de automatización
Con el avance continuo de la tecnología, los robots de manipulación de obleas están logrando gradualmente niveles más altos de automatización para satisfacer las demandas y desafíos de la industria de fabricación de semiconductores.
El reductor de accionamiento armónico, debido a su ausencia de juego, ultra alta precisión (nivel de segundos de arco) y características de peso ligero, se utiliza comúnmente en equipos como brazos de manipulación de obleas (Wafer Handler), máquinas de litografía (Lithography) y maquinaria compatible con salas limpias.
La caja de engranajes del reductor RV, debido a su alta rigidez, alto par y larga vida útil, se emplea frecuentemente en la base de los brazos robóticos de manipulación de cargas.
El reductor planetario de precisión, con su alta densidad de par y estructura compacta, se utiliza ampliamente en dispositivos como cintas transportadoras de obleas, mesas giratorias indexadoras y prealineadores de obleas.